第363章 龙国还是太年轻了(2/3)

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没有精密的光学镜头组，就用显微镜的物镜反向聚焦。没有紫外光源，就拿路灯用的高压汞灯凑合。

“老李，掩模版。”林建头也不抬地伸出手。

旁边，八级钳工老李师傅小心翼翼地递过一块两指宽的玻璃板。玻璃板上镀着一层铬，上面布满了肉眼几乎看不清的细密纹路。

这是老李戴着两层老花镜，拿着修钟表的刻刀，在强光台灯下熬了三个通宵，一刀一刀手工雕出来的掩模版。

“林工，你手稳着点，这玩意儿我眼睛都快瞅瞎了才刻出这么一块没毛病的。”老李压低声音，生怕喘气大了把玻璃板吹跑。

“放心。”林建接过掩模版，卡在显微镜的载物台上。

下面，是一片只有指甲盖大小的硅片。表面已经涂了一层感光胶。

接触式光刻。掩模版直接压在硅片上。

林建的手极稳。他慢慢转动显微镜的微调手轮。

“咔。”

掩模版贴住了硅片。

“开灯，曝光！”

助手小王猛地按下墙上的粗糙闸刀开关。

高压汞灯发出一声沉闷的嗡鸣，刺眼的蓝白光顺着铁皮筒的小孔，穿过显微镜镜头，打在掩模版上。

林建心里默默数着秒。

“十，九，八……三，二，一。关灯！”

光线消失。

林建迅速把硅片取下来，夹着用竹片削成的镊子，放进旁边一个装满显影液的搪瓷缸子里。

轻轻晃动。

几秒钟后，硅片上隐隐约约浮现出极其微小的几何图案。

“显影成功。”林建吐出一口浊气，“进扩散炉。”

棚子角落里，摆着一个用耐火砖和石棉瓦临时砌起来的炉子。里面插着一根从玻璃厂定制的石英管。

这就是他们的扩散炉和化学气相沉积（CVD）设备。

没有高精度的温度传感器。控温全靠旁边一个炼钢厂调来的老炉长。老头搬个马扎坐在炉子前，死死盯着石英管里火焰的颜色。

“樱桃红，八百度。亮黄，一千度。”老炉长嘴里念念有词，手里不停地微调着煤气阀门。

硅片被推入石英管。

掺杂，氧化，刻蚀。